設置場所：明大寺地下1階 B32-33室
【特徴】
X 線励起電圧 : 20 100kV
X 線最大出力 : 10W
6 ポジションフィルターチェンジャー
最大スキャンサイズ : 75mm 径 x70mm 高
16 サンプルチェンジャー オプション
11MpCCD 検出器（4032x2688 ピクセル）
最高分解能 : < 0.35μm @ 16Mp CCD、< 0.45μm @ 11Mp CCD